第四百零三章半导体纳米研究院(1 / 2)

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这项术虽然有大规商业化,但已经了雄厚基础,过去的十年间,全球科家围绕导体纳线开展系统深的研究,为半导纳米线能器件域,带了蓬勃展。

据ebfiee检索结统计,1999年到2015年,全世界于半导纳米线究i论总数超17万

这些年发展,家对半体纳米线的可控备、性调控、件构筑应用的识不断深。

导体纳线技术渐渐在同领域,展现了大应用力,正渐从基研究走实际应

,基于导体纳线的场应管、米发电、纳米片、场射器件、太阳能池、发二极管、激光器、光电探器、光导器件、存储器、光催以及高感化学生物传器等功器件,继被研出来。

虽然,些仅仅实验室品,成极高,无法大模商用。

它未的潜力价值,是无法量的。

特别是半导体域,半体纳米线承载着球科学的期盼,有望实半导体能器件域的变性发展。

根据些相关域的大展望,导体纳线功能件,或将成为米科技向应用重要突点。

芯片、种半导器材而,小型、低能和智能一直是重要的展趋势。

当半体器件线宽小于100n,将对备和制工艺提更高要,成本加巨大,传统工的局限越严重。

而基传统工的光刻,从起的v光机水平,逐步提到了dv光刻机平,再展到现的ev刻机水,在这路上越越远。

设备越越大,本越来高。

还有一致命的点,就有自身物理极,发展一定的步,就法再深发展下了。

所周知,光刻机称紫外线光刻机,是利用外线加芯片,dv光刻就是深外线光机,ev光刻机是极深外线光机。

的颜色靠近红,它的率越低;越靠近色,它频率就高。光速度是个常数,频率越,波长小。

ev光刻采用的频率是深紫外线频率,应的波大约为10~15纳米;dv光刻采用的频率是紫外线率,对的波长约为200纳米;v光刻采用的频率是外线频,其对的波长约为360纳米。

也就说,光机越先,需要光频率高。

的频率,它是一物理客存在的值,是难通过为的手去改变高的。

……

在采用是极深外线频,很难找到更频率的线,所光刻机水平也难再被升。

刻机技得不到升,直导致芯的制造艺得不有效地升,也芯片的造工艺可能由14纳米、7纳米、5纳米、3纳米、2纳米样一直下去,是有物极限的。

另外,用光刻制造芯的原材硅晶,有他自的材料限。

晶的最的单位“硅原子”直径大为0.22纳米。

如今统的芯制造工,是不能比硅子还小,超过0.22纳。这个是它的个物理限。

……

是说,统的芯制造工有两大限。

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