第139章:晶圆切割裂纹异常(1 / 2)

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阳光正,微风燥。

华迈着亲不认脚步,直走到吸烟区,朝着洁的墙壁靠,用齿咬了根香烟,将双手在了裤里,脑不时摆一下,睛东瞅西望望,一副痞的样子。

这个厂队伍庞大的生产部,作为前主管,可是生部的老

就要有二的样,最近无形之养成了路的时六亲不的习惯,抽烟的候也懒用手,用牙齿着一直,香烟到嘴巴了,他往后拉下嘴唇,露出一已经被黄了的齿。

“老同学,有啥事?”姜歪着脑问道。

“昨天排工程术人员假片做艺验证,也不知情况怎了?”佟用手弹了弹灰说道。

“等咱们一去车间看!”

“我隐感觉这项目并简单,托罗拉项目,们千万能掉以心。”佟抬起仰望着蓝的天说道。

“下一客户来圆了,驴子是,拉出熘熘就道了。”

抽完,二人直来到晶圆减车间。

现场只一名工技术员场,姜一把就他抓住:“昨安排你工艺做证,你有做过150μ验证吗?”

老大,们昨天过一片,减薄没发现问,不过说切割时候出了裂纹,罗高工到谢老,他们在讨论题的对。”

“是吗?”辛佟心一紧。

以前车减薄只到过220μ不那是做消费类子产品,MPC5200是车规品,对靠性要高,越就越容散热,有想到150μ出问题

,这只假片验,要是接拿客的实验验证,计很快会把实片用完,重新请实验走流程物流起要耽搁个月时

,谢工定在工部,上程部找去!”华说道。

辛佟了点头。

工程会议室,罗高果然正讨论技问题。

“辛经,你来正是时,我们在讨论托罗拉目切割纹的事。”罗工冲着佟招了手。

佟点了头,找一个位坐了下

们已经成两刀割了,割对芯的应力经降低最低水了,没想到圆还是出了裂纹。”S天谢剑风绪有点落。

“谢工,刀切割工艺成吗?”高工问

们用这工艺切220μ晶圆,有一点题,对实验表还是跟圆的厚有关,切割工无关。”谢剑风道。

佟抬头了他一,心想谢工功做得还挺扎实,不愧天王级的技术手。

“这么说,应力是来自减薄工,那么想问你,你有测过减薄晶圆的曲度吗?”罗高问道。

辛佟投去崇敬目光,高工的辑推理力真是强大了,因为晶产生应后肯定有蛛丝迹可查,轻微形肯定不掉。

“老大,我们测过的,片翘曲差不多了400μ”谢回答道。

辛佟自感叹,真没有到谢工考虑到薄的应了啊,王就是王,不400μ不是有大了?

“220μ圆减后的翘度你量吗?”佟抬起问道。

“不瞒说,220μ晶我们也测过,曲度在200μ!”谢回答道。

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